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ELA系列超精密直線伺服氣浮平臺
瀏覽:618 發布日期:2021-10-08?

由一派數控與德國AeroLas聯合開發的ELA系列超精密平臺,是以直線電機為驅動,微孔氣浮導軌為支撐,控制精度在0.5~0.1微米的多軸運動平臺,是高端電子、光學、芯片等工業領域精密加工和精密檢測的首選伺服裝置。其顯著特點是:

●所有運動部件均無接觸摩擦,無過定位;

●所有運動軸系布置在一個平面上,最大限度地提高平臺結構的穩定性和工件移動時的平面度。

ELA系列主要技術參數:

技術指標描述

X/Y行程

X/Y速度

X/Y軸加速度

X/Y軸絕對定位精度

X/Y軸重復定位精度

單軸直線度

C軸轉角

C軸轉角絕對定位精度

C軸轉角重復定位精度

工作平面的平面度

技術參數

300X300mm

0.05~1m/s

2g

0.4um?? (有補償)

0.2um

±1um?? (有效行程)

360°

±1.5角秒

±1角秒

0.5um

各單項可實現的最高指標

4000X2500mm

4m/s

5g

0.25um(與測量控制系統有關)

0.02um(與測量控制系統有關)

±0.5um? (有效行程)

360°

±1.5角秒

±1角秒

0.3um

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